クリーン硬化炉 (COR-1200)

遠赤外線プレートヒーターで精密な温度制御の状態において、N2雰囲気中でトレイにセッ トされた水晶デバイスの接着剤を硬化させる装置です。トレーの搬送は発塵を抑制するウォーキングビーム方式で入口と出口にシャッターを設けて、Ｎ2ガスの使用量を低減しています。