ベルト式クリーン硬化炉 (CONO-555)

シーズーヒーターの熱風循環による温度制御の状態においてN2雰囲気中でトレーにセットされたマガジンに入った水晶デバイスの接着剤を硬化させる装置です。トレーの搬送はメッシュベルトによるコンベヤ方式を採用しています。