此款自動研磨控制器是基於微處理器,通過監測研磨過程中共振頻率来計量壓電材料在打磨和抛光過程中的頻率,並在達到目標頻率時結束製程。它適用於幾乎所有廠家製作的2-way或4-way的研磨設備。

可適用設備          硅晶圓研磨機的控制裝置                                 
可控制厚度範圍100~1600 φm
量測精度0.1 %
WR 探頭3.5 MHZ ~ 99 MHz
再現性100 ppm MHz
外形尺寸290(W)x290(D)x70(H)