該設備通過圖像處理補正石英晶圓的對準標記,之後對晶圓內的晶片進行量測。可根據需要任意設定全數檢測、抽樣檢測或指定 ID (區域) 檢測。

對應產品       晶體諧振器
產能約1.5sec/4個 (測量時間為每個0.6sec時)     
設備控制PLC & PC
測量儀器250B-2 (S&A)
觸點 (Contact)用於超小間距的層曡式精密觸點
測量内容頻率及CI値等
測量數據輸出以映射及CSV文檔輸出至顯示屏
外形尺寸900(W) x 800(D) x 2000(H)